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产品名称:

TOC超纯水设备

发布时间: 2023/12/5 有效时间: 2024/6/5

详细介绍

TOC超纯水设备

微电子行业制备超纯水流程中,因紫外线技术在超纯水高品质要求中不引入新的物质,而得到广泛应用。

有机物是超纯水系统中最难控制的污染,随着集成电路临界尺寸不断缩小挑战,对超纯水中TOC值的要求越来越高,因此,如何配置紫外线,如何确认配置中紫外线设备的有效紫外剂量,进而使TOC去除合格且水中溶解氧不升高,安力斯将为您解决这些运营困扰。

185nmUV主要用于去除超纯水制备过程中的TOC,使出水满足美国ASTM超纯水水质标准及电子工业部电子级水水质标准。

产品介绍:

EX-UPW-TOC产品系列是一款适用于超纯水 (UPW) 制备中对总有机碳 (TOC) 进行降解的先进可靠系统。通过更高185nm穿透率、实时在线的紫外线强度监测、本地/远程的智能控制,实现高效、安全可控的总有机碳 (TOC) 降解。该设备在超纯水制备工艺中,可使超纯水TOC降至1ppb以下。

产品主要组成:高强度185nm的紫外灯管,高输出石英套管,内外电解抛光的一体化紫外反应器,高度精确的UV强度传感器及智能自控系统组成。


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TOC超纯水设备

产品规格:

处理水量

2~60m3/h

灯管配置

12~48支

灯管类型

85w/155w(185/254nm双波段)

石英套管

T>80%@185nm

镇流器

50~100%输出功率可调

反应器材质

316L

洁净等级

内外电解抛光、表面光洁度10以上(≤Ra0.2)

法兰尺寸

DN50~DN200

额定压力

PN10

控制柜等级

IP55,碳钢喷塑

控制系统

本地/远程、触摸屏、连接SCADA系统

UV强度传感器

分辨率0.01mw/cm2






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