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超纯水的介绍及制作工艺

发布日期: 2022-08-09
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电子级水是指电子和半导体工艺过程中所用的超纯水。超纯水是一类纯度高的。几乎不含电解质、气体、有机物和难离解胶体物的水,其电阻率不低于10MΩ/cm含盐量低于0.02mg/L。超纯水是电子行业中常用的术语,其他行业,诸如太阳能光伏,制药,发电以及研究实验室等也被使用到。虽然每个行业都使用所谓的“超纯水”,但质量标准各不相同。即使在电子行业中,不同应用诸如半导体、液晶面板及各种电子元器件对超纯水的要求也各不相同。其中半导体中代表了“超纯水”使用的最高等级。

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表一:《GB-T 11446-2003》电子水等级

水中杂质可分为两类:一是悬浮杂质,包含细菌、病毒、有机物、胶体等;二是溶解在水中的小分子和离子,包括溶解性气体、盐类及少量重金属离子。

超纯水制备通常由预处理、脱盐、后处理三大部分组成。半导体行业所使用的超纯水(电阻率≥18MΩ/cm)通常采用“预处理(机械过滤)+二级RO +EDI装置+抛光混床(MMF+ACF+二级RO +EDI+SMB)”的工艺。

而EDI电去离子技术的应用对前端来水TOC及SiO2等有严苛的要求,TOC要求控制在0.5*10-6mg/L以下,SiO2控制在0.4*10-6mg/L以下,安力斯UV-TOC系列产品使用185nm和254nm双波段紫外灯,低耗高效去除水中TOC、SiO2游离氯、铁等微量污染物。

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图一:二级RO+EDI超纯水制备工艺

 

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