凤凰湾电子信息产业园配套TOC降解项目

　　凤凰湾电子信息产业园位于江苏省徐州经济技术开发区，是徐州市重点打造的集成电路及ICT产业特色园区。园区总建筑面积约36万平方米，重点发展半导体材料、集成电路设备、第三代半导体材料器件、集成电路封测及制造等产业。
 

　　半导体制造对超纯水水质要求极为严苛，总有机碳(TOC)是超纯水系统中最难控制的污染物之一。随着集成电路临界尺寸不断缩小，对超纯水中TOC值的要求越来越高。北京安力斯环境科技股份有限公司为凤凰湾电子信息产业园提供了配套的超纯水TOC降解系统，保障园区内半导体企业生产用水需求。
 

图1：凤凰湾电子信息产业园
 

　　二、技术方案
 

　　安力斯为该项目提供了EX-UPW-TOC系列超纯水TOC降解系统，该系统采用185nm双波段紫外技术，通过高能量紫外光激发水分子产生羟基自由基(·OH)，利用其强氧化性将水中的有机物分解为二氧化碳和水，实现TOC的高效降解。
 

　　该系统核心特点包括：高强度185nm紫外灯管：双波段(185/254nm)输出，185nm波段透光率达80%以上，确保高效的TOC降解效果。高精度UV强度传感器：分辨率达0.01mW/cm²，实时监测紫外剂量，确保出水水质稳定。智能控制系统：支持本地/远程控制，可连接SCADA系统，实现智能化运维管理。高品质材料：采用316L不锈钢反应器，内外电解抛光处理，表面光洁度达Ra0.2以上，满足超纯水系统的洁净要求。
 

图2：TOC降解系统运行现场
 

　　设备处理能力覆盖2~60m³/h，可使超纯水TOC稳定降至1ppb以下，满足美国ASTM超纯水水质标准及电子工业部电子级水水质标准。
 

　　三、运行效果与意义
 

　　项目投运后，超纯水系统出水TOC稳定控制在1ppb以下，可满足半导体制造工艺对超纯水水质的严苛要求。系统运行稳定可靠，维护周期长，有效降低了园区企业的生产运营成本。
 

图3：安力斯TOC降解设备
 

　　该项目的成功实施，为凤凰湾电子信息产业园内半导体企业提供了高品质的超纯水保障，助力园区打造长三角优质集成电路及ICT产业集群。项目也充分展示了安力斯在微电子行业超纯水处理领域的技术实力和工程应用能力，为后续同类项目积累了宝贵经验。