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产品名称:

半导体超纯水说明

产品品牌: Onyx 价格:
厂商性质: 生产厂家 产品时间: 2023-07-05
半导体超纯水说明主要用于生产超纯水过程中去除TOC有机物,降低TOC出水指标,使出水满足美国ASTM超纯水水质标准及电子工业部电子级水水质标准。

产品概述

半导体超纯水说明

n 产品介绍:

EX-UPW-TOC产品系列是一款适用于纯水(UPW)制备中对总有机碳(TOC)进行降解的先进可靠系统。通过更高185nm穿透率、实时在线的紫外线强度监测、本地/远程的智能控制,实现高效、安全可控的总有机碳(TOC)降解。该设备在超纯水制备工艺中,可使纯水TOC降至1ppb以下。

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n 主要优势:

² 安全可控

真空级平行光束仪进行理论安全剂量指导设计,足够紫外线剂量实时输出可调,系统智能自控。

² 更高去除效率

更高纯石英玻璃,系统185nm紫外线强度输出较传统产品提高50%以上。

² CFD流体模拟

进行细节模拟设计,提高处理效率

² 性能稳定、操作简便

本地与远程控制,配备PLC、触摸屏,紫外强度实时显示及预警

² 先进的加工工艺

采用先进设备、工艺加工,反应器内外电解抛光,Ra<0.2

² 多形式选择

满足现场多样化安装形式,产品可选择成套撬装,占地面积小

半导体超纯水产品规格:

处理水量

2~60m3/h

灯管配置

12~48支

灯管类型

85w/155w(185/254nm双波段)

石英套管

T>80%@185nm

镇流器

50~100%输出功率可调

反应器材质

316L

洁净等级

内外电解抛光、表面光洁度10以上(≤Ra0.2)

法兰尺寸

DN50~DN200

额定压力

PN10

控制柜等级

IP55,碳钢喷塑

控制系统

本地/远程、触摸屏、连接SCADA系统

UV强度传感器

分辨率0.01mw/cm2








半导体超纯水说明应用领域:

1. 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路板

2. 电解电容器生产铝箔及工作件的清洗

3. 电子管生产、电子管阴极涂敷碳酸盐配液

4. 黑白显像管荧光屏的生产、波壳清洗、沉淀、洗膜、管颈清洗

5. 液晶显示器的生产、屏面清洗

6. 集成电路生产中高纯水清洗硅片

7. LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏的生产









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