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产品名称:

半导体超纯水 超纯水设备

发布时间: 2023/12/5 有效时间: 2024/6/5

详细介绍

半导体超纯水

美国总统签署了《2022芯片与科学法案》,设置“中国护栏"条款,限制企业在中国芯片产业的发展。事实上,中国芯片产业被卡脖子由来已久,原料、技术、供应链等方方面面深受外国掣肘,甚至是我们最常见的水,当然,这里的水指的并不是我们日常生活中的自来水,而是“超纯水"。

超纯水是指电阻率达到18 MΩ*cm(25℃)的水。这种水中除了水分子外,几乎没有什么杂质,更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物,也没有人体所需的矿物质微量元素,也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。

产品介绍:

Onyx的EX-UPW-TOC产品主要由高透185nm的紫外灯管,高输出石英套管,内外电解抛光的一体化紫外反应器,高度精确的UV强度传感器及智能自控系统组成。

185nmUV主要用于生产超纯水过程中去除TOC有机物,降低TOC出水指标,使出水满足美国ASTM超纯水水质标准及电子工业部电子级水水质标准。


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电子级水UV-TOC控制系统

半导体超纯水产品规格:

处理水量

2~60m3/h

灯管配置

12~48支

灯管类型

85w/155w(185/254nm双波段)

石英套管

T>80%@185nm

镇流器

50~100%输出功率可调

反应器材质

316L

洁净等级

内外电解抛光、表面光洁度10以上(≤Ra0.2)

法兰尺寸

DN50~DN200

额定压力

PN10

控制柜等级

IP55,碳钢喷塑

控制系统

本地/远程、触摸屏、连接SCADA系统

UV强度传感器

分辨率0.01mw/cm2









集成电路超纯水应用领域:

1. 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路板

2. 电解电容器生产铝箔及工作件的清洗

3. 电子管生产、电子管阴极涂敷碳酸盐配液

4. 黑白显像管荧光屏的生产、波壳清洗、沉淀、洗膜、管颈清洗

5. 液晶显示器的生产、屏面清洗

6. 集成电路生产中高纯水清洗硅片

7. LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏的生产









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